Pe¿na diagnostyka sekcji plazmy indukcyjnej p¿dnika jonowego

Indukcyjna niskoci¿nieniowa plazma ksenonowa zostäa wytworzona w sekcji wej¿ciowej p¿dnika jonowego. Jej pe¿na diagnostyka obejmowäa pomiary w¿äciwo¿ci integralnych (opatentowane) oraz wyznaczenie lokalnych parametrów plazmy. Dok¿adna diagnostyka lokalna ujawni¿a rozk¿ady parametrów plazmy przy u¿yciu cylindrycznych sond Langmuira. Ich wyprowadzenia by¿y chronione przez konwencjonalne, go¿e os¿ony. Pó¿niejsza analiza wykazäa, ¿e znieksztäcäy one plazm¿ ksenonow¿ obni¿aj¿c wszystkie jej parametry. Wówczas diagnostyka sond zostäa specjalnie zaaran¿owana za pomoc¿ promieniowo ruchomej sondy prostej-1 oraz dodatkowej sondy w ksztäcie litery L-2. Obie pracowäy w jednej specjalnej pozycji: os¿ona-1 by¿a nieobecna, a os¿ona-2 by¿a niezerowa, ujawniaj¿c b¿¿dy pomiarowe, które pomog¿y skorygowä dane z sondy-1. W rezultacie zaproponowano trzy nowe zastosowania sond: a) eliminacja wp¿ywu nieos¿oni¿tej os¿ony ochronnej sondy na wyniki pomiarów; b) pomiary grubo¿ci p¿aszcza sondy i ¿redniej masy jonów przy u¿yciu sond cylindrycznych w plazmie Maxwelliana; c) ocena rozk¿adów g¿sto¿ci pr¿du jonowego do elektrody ekstrakcyjnej p¿dnika jonowego ustawionego za pomoc¿ symulatora sondy p¿askiej (Pat. Applic-n).